マスフローコントローラ
流速：10 SCCM〜100 SLM

FMAA2100 / 2200 / 2300 / 2400

マスフローコントローラ、10 SCCM〜100 SLM | FMAA2100

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± 1% 精度
線形アナログ出力
低価格
熱技術
100 SLM までの流量に対応
電源付属

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商品説明

FMA-A2000マスフローメータ（質量流量計）は、コンパクトなサイズながら高性能、多機能性、最新設計を備えています。FMA-A2000は、キャピラリー熱技術を利用して、気体の質量流量を直接測定します。温度、圧力、平方根校正は不要です。

FMA-A2300/2400マスフローメータには、LCD ディスプレイが付属し、すべてのモデルは線形0 ～ 5 Vdc／4 ～20 mA出力を備えています。

FMA-A2000は、気体の質量流量を0 ～ 100 SLMの24範囲で測定します。FMA-A2000シリーズは、大部分の非腐食性気体に対応します。接液部の材質の気体に対する適合性を確認することを推奨します。
OMEGA質量流量コントローラは、電磁比例バルブを使用して質量流量を調節します。指令信号は内部のセットポイントポットまたは0 ～ 5 Vdcの外部ソースから供給されます。

仕様
精度： ±1% FS 線形を含む
再現性： ±0.15% FS
ターンダウン比： 100:1
応答速度： 5秒
気体および周囲温度：0～50°C
温度係数：0.05% FS/1°C
圧力係数：0.01% FS/psi
最小圧力条件：
流量計： 1 inH2O
コントローラ (1 SLMまで)： 1 psi コントローラ (20 SLM以上) ：20 psi
質量流量コントローラの差圧：
　<5 LPM、5～50 psi 標準
　>5 LPM、20～40 psi 標準
最大気体圧力：
　ポリアセタール： 250 psig
　316 SS： 500 psig
リークインテグリティ：1 x10-6 cc/min (He)
接液部：
　標準：ポリエステル、FKM Oリング
　オプション： 316 SS、FKM Oリング
　接続： 1⁄4 FNPT 標準1⁄4" コンプレッション
　フィッティング、すべてのステンレス鋼モデルの対応
入力/出力接続：9ピンDサブコネクタ
調節信号： 0～5 Vdc
調節バルブ：電磁式、通常は閉
出力信号：線形 0～5 Vdc、最小負荷1000Ω、4～20 mA、ループ抵抗 500Ω
マウントねじ：
316 SS ボディ：6⁄32" ねじ
ポリアセタール：セルフタップ式 #4/6 ねじ
供給電源：
流量計： 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac、220 Vac、ACアダプタ付
コントローラ： 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac、220 Vac、ACアダプタ付
寸法： PDFを参照
重量： 1.25 kg、電源込み

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部品番号/Desc.

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商品説明

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FMA-A21(*)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ（質量流量計）、ディスプレイなし、範囲0 ～ 10 SCCM、0 ～ 100 SLM

FMA-A22(*)-SS-(**)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ（質量流量コントローラ）、ディスプレイなし、調節バルブあり、範囲 0 ～ 10 SCCM、0 ～ 50 SLM、316 SS ボディ

FMA-A23(*)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ（質量流量計）、ディスプレイあり、範囲0 ～ 10 SCCM、0 ～ 100 SLM

FMA-A24(*)-SS-(**)

お問い合せ下さい

納期:

マスフローメータ（質量流量コントローラ）、ディスプレイあり、調節バルブあり、範囲0 ～ 10 SCCM 、0 ～ 50 SLM、316 SS ボディ

アクセサリ

FMA-200PWA

¥25,146 (税込)
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納期: 2 週間

交換用ソケットプラグイン電源、90 ～ 260 Vac

SSLK-14-14

¥4,687 (税込)
(税抜価格 ¥4,261)

納期: 2 週間

316 SS コンプレッションフィッティング ¼ NPT、外径¼" 管用

部品番号ビルダー

下記から仕様構成を選択し、ご注文ください

	(1)	(2)	(3)
FMA-A

以下からオプションを選択:

(1) モデル :
21 : 2100 Series meter without display
22 : 2200 Series controller without display
23 : 2300 Series meter with display
24 : 2400 Series controller with display

(2) 流量範囲 :
00 : 0 to 10 SCCM
01 : 0 to 20 SCCM
02 : 0 to 50 SCCM
03 : 0 to 100 SCCM
04 : 0 to 200 SCCM
05 : 0 to 500 SCCM
06 : 0 to 1 SLM
07 : 0 to 2 SLM
08 : 0 to 5 SLM
09 : 0 to 10 SLM
10 : 0 to 15 SLM
11 : 0 to 20 SLM
12 : 0 to 25 SLM
13 : 0 to 30 SLM
14 : 0 to 35 SLM
15 : 0 to 40 SLM
16 : 0 to 45 SLM
17 : 0 to 50 SLM
18 : 0 to 55 SLM (FMA-A2100/2300 series only)
19 : 0 to 60 SLM (FMA-A2100/2300 series only)
20 : 0 to 65 SLM (FMA-A2100/2300 series only)
21 : 0 to 70 SLM (FMA-A2100/2300 series only)
22 : 0 to 75 SLM (FMA-A2100/2300 series only)
23 : 0 to 100 SLM (FMA-A2100/2300 series only)

(3) Stainless Steel Body :
オプション選択がない場合 : None
-SS : Stainless steel body

注: 有効な部品番号については、「商品仕様(PDF)」を参照ください。
ご不明な場合は、カスタマーサービス(0120-040-572 もしくは jpesales@dwyeromega.com)へお問合せください。

マスフローコントローラ 流速：10 SCCM〜100 SLM

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