質量流量コントローラー

コントローラーは様々な制御機能用にプログラム可能であり、様々なアプリケーションとオプション機能があります。

FMA3100
マスフローメータ／コントローラ
流速：20 SCCM〜10 SLM
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FMA5400A / 5500A
マスフローコントローラ
流速：10 SCCM〜100 SLM
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FMAA2100 / 2200 / 2300 / 2400
マスフローコントローラ
流速：10 SCCM〜100 SLM
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下記製品は英文ですが、ご注文いただけます。

FMA-LP2600A
Low Pressure Drop Gas Mass Flow Controllers For Clean Gases
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FMA2700, FMA2800, FMA3700, FMA3800 Series
Stainless Steel Mass Flowmeters and Controllers
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FMA-2600 SERIES
Mass Flow Controllers with 20+ Gas Select Function
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FMA6500 Series
Mass Flow Controller w/RS485 Standard and Alarm Functions
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FMI-100 Series
PROGRAMMABLE INTERFACE DISPLAY FOR RATE, TOTAL AND CONTROL COMMANDS
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